小型電子部品専用気密検査装置グロスリークテストシステム MSZ-6200 series MSZ-6200-MSZ-6200

小型電子部品専用気密検査装置グロスリークテストシステム MSZ-6200 series MSZ-6200
株式会社フクダ

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この製品について

■小型電子部品専用気密検査装置とは水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、CANデバイス、レーザーダイオード、MEMSデバイス、SAWフィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストを行う装置です。

密封された製品のリークテストは、グロスリークテストとファインリークテストの2種類の検査を行う必要があります。全行程を一台で行える全自動機や専用機 (特注) 、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。

水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、CANデバイス、レーザーダイオード、MEMS関連製品、SAWフィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストシステムです。全自動機、専用機、卓上タイプをラインアップしております。

■電子部品や光デバイスなどのリーク検査 グロスリーク、ファインリークテストシステム密封された製品のリーク検査は、グロスリークテストとファインリークテストの2種類の検査をする必要があります。グロスリークテストは差圧式エアリークテスト、ファインリークテストはヘリウムリークテスト (ボンビング法) による検査を行います。

■リーク検出範囲と対応機種リーク検出範囲により、以下の3機種をラインアップし、大リークから10-15Pa・m3/s (He) までのリークレート全領域をカバーしています。ボンビング・グロス・ファインリークテストシステムは、主に2.5×2.0以下の小型ワーク専用にヘリウムガス充填後の放置時間管理機能を有する装置として設計されています。

■グロスリークの測定原理小型電子部品のグロスリークテストは、小型カプセル内にSMDなどのワークを投入・加圧し、カプセル内圧がワークへ漏れ込むことによって発生する微小圧力降下を計測します。また、ワーク内に瞬時に漏れ込む大リークについては、カプセル内エアを大気圧状態の小型タンクに開放し、それにより生ずる差圧を計測することにより測定を行います。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
小型電子部品専用気密検査装置グロスリークテストシステム MSZ-6200 series MSZ-6200

取扱企業
株式会社フクダ

カテゴリ

試験機器

リークテスター

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小型電子部品専用気密検査装置グロスリークテストシステム MSZ-6200 series MSZ-6200 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	検査対象サイズ (mm)	処理速度	最小可検漏れ量	電源電圧・消費電力	空圧源	外形寸法 (mm) ※シグナルタワー除く	搬送	オプション
	MSZ-6200	要見積もり	1.6×1.2~3.2×2.5	12ch 0.5s/個	グロスリーク:2×10^-7~大リーク (等価標準リーク)	AC100V±10%単相50/60Hz・1.5kVA	空圧源0.5MPa以上クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。推奨条件:JISB8392-1:2012による圧縮空気の清浄等級1,3,1	W1,000×D1,000×H1,800	OK・NGBOXバラ落とし (特殊仕様にてパレット搬入・搬出、段積みなど対応可)	HEPAフィルタの取付を推奨します。