微細転写装置 (インプリント装置) STシリーズ
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この製品について

ディスプレイ、次世代メディア、光学素子関連部材等を製作する為、微細モールドを使用し、熱転写あるいはUV転写することにより素材に微細形状を転写する装置です。

微細転写装置ST50は、高精度プレス位置制御・高精度プレス力制御を特徴とし、「IT・エレクトロニクス、バイオ・ライフサイエンス、環境・エネルギー」等のキーテクノロジーに必要とされるナノメートルからマイクロメートルオーダーまでの様々な微細形状要素を高精度に転写する装置です。

■特徴・ステップ&リピート (S&R) の転写に対応した高分解能XYステージ搭載可能 (オプション対応) 
・真空下での転写に対応した真空チャンバを搭載可能 (オプション対応) 
・型と基板とを高精度にアライメントするXYΘステージやアライメントカメラを搭載可能 (オプション対応) 
・高機能マンマシンインターフェース装備
・UV転写または熱転写に対応可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
微細転写装置 (インプリント装置) STシリーズ

取扱企業
芝浦機械株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

ナノインプリント装置

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微細転写装置 (インプリント装置) STシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	モールドサイズ	ブレス力設定範囲	ストローク設定範囲	速度設定範囲	温度制御	外形寸法 L×W×H	質量	対応クリーン度	電源	エアー源
	ST50	要見積もり	最大 φ150mm (UV転写仕様時)	0~50kN	0~150mm	0.01~30mm/s	最大200℃ (熱転写仕様時)	1.9m×1.0m×2.3m	2,800kg	ISO Class6 (FED-STD209 Class1000)	AC220/200V、60/50Hz	0.6MPa、300NL/min