ガス・エンジニアリング PSAアルゴンガス回収精製装置
住友精化株式会社

住友精化株式会社の対応状況返信の比較的早い企業

返答率

100.0%

返答時間

26.2時間

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

本装置は、RH 真空脱ガス炉・シリコン単結晶引上げ装置等から排出されるアルゴンリッチガスを高純度のアルゴンガスに精製分離することができます。

■原理吸着剤ゼオライトでは、窒素、一酸化炭素、炭酸ガスに比べ、アルゴンの吸着量は小さく分離が可能となります。
従って、上記のガス等を含むアルゴン混合ガスから高純度アルゴンの回収精製が行われます。

■特長・ 高純度アルゴン (max. 99.999％) の回収が可能です。
・ アルゴン回収率が70 〜80％と高率。

■用途・ 鉄鋼業 RH 真空脱ガスからのアルゴン回収。連鋳設備排ガスからのアルゴン回収。LF 炉排ガスからのアルゴン回収。
・ 半導体 シリコン単結晶排ガスからのアルゴン回収。
・ その他 各種アルゴン含有排ガスからのアルゴン回収。