ガス・エンジニアリング PSAアルゴンガス回収精製装置 住友精化株式会社
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この製品について
本装置は、RH 真空脱ガス炉・シリコン単結晶引上げ装置等から排出されるアルゴンリッチガスを高純度のアルゴンガスに精製分離することができます。
■原理
吸着剤ゼオライトでは、窒素、一酸化炭素、炭酸ガスに比べ、アルゴンの吸着量は小さく分離が可能となります。 従って、上記のガス等を含むアルゴン混合ガスから高純度アルゴンの回収精製が行われます。■特長
・ 高純度アルゴン (max. 99.999％) の回収が可能です。 ・ アルゴン回収率が70 〜80％と高率。■用途
・ 鉄鋼業 RH 真空脱ガスからのアルゴン回収。連鋳設備排ガスからのアルゴン回収。LF 炉排ガスからのアルゴン回収。 ・ 半導体 シリコン単結晶排ガスからのアルゴン回収。 ・ その他 各種アルゴン含有排ガスからのアルゴン回収。-
シリーズ
ガス・エンジニアリング PSAアルゴンガス回収精製装置
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取扱企業
住友精化株式会社
ガス・エンジニアリング PSAアルゴンガス回収精製装置 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 能力 | 純度 | 圧力 | 水分 |
|---|---|---|---|---|---|---|
Ar-PSA |
要見積もり | max. 1,000㎥/h (nor.) 1系列当り | max. 99.999％ | 0.49 ~0.69MPaG | 露点 −70℃ at 1atm |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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