クローズドイオンソース型ガス分析計
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クローズドタイプの四重極質量分析計です。レスポンスが良くスパッタ装置などのオンラインプロセスの監視とコントロール、高真空残留ガスの分析及びプロセス機器のリークチェックなど、さまざまなアプリケーションに使用可能です。検出限界1ppm以上、mTorr圧力で直接サンプリングが可能です。

■クローズドイオンソース型ガス分析計の原理と仕組みクローズドイオンソース型ガス分析計は質量分析計のひとつで、「四重極型分析器」がベースになっています。検出するガスをイオン化することで、非常に精度の高い測定が可能になります。四重極型分析器は大きく3つの部分から構成されています。試料となる気体はまず「イオン化部」でイオンに変換され、弱い電圧で「四重極部 (質量分離部) 」に向けて加速されます。

四重極部には正負逆の電圧をかけられた4本の電極が並んでいて、高速で位相変化する電場が生じています。四重極部に入ったイオンの内、安定的な振動状態を持ったイオンは、そのまま四重極部を通り抜けて「イオン検出器」に到達します。不安定なイオンは四重極部を通り抜けることができません。

選別された試料イオンは、イオン検出器内で電子を生み出します。電子が検出部内で衝突を繰り返すことで増幅され、より高精度に気体の組成を分析できるのです。

■主な用途と市場クローズドイオンソース型ガス分析計は、構造が比較的シンプルで低コストのため、スパッタ装置の監視・コントロールや、高真空残留ガスの計測などに利用されます。コーンズテクノロジーでは、CIS100 CIS200 CIS300 の3機種を取り扱っています。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
クローズドイオンソース型ガス分析計

取扱企業
コーンズテクノロジー株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

ガス分析計

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品番	価格 (税抜)	マスレンジ 100amu 200amu 300amu	検出感度	動作圧力	ソフトウェア	その他
CIS100	要見積もり	100amu	1ppm (EM差動時)	10mTorr	RGAシリーズと共通	GPSと同期可能　マルチヘッドオペレーション GPSと同期可能　RGA/CIS モード
CIS200	要見積もり	200amu	1ppm (EM差動時)	10mTorr	RGAシリーズと共通	GPSと同期可能　マルチヘッドオペレーション GPSと同期可能　RGA/CIS モード
CIS300	要見積もり	300amu	1ppm (EM差動時)	10mTorr	RGAシリーズと共通	GPSと同期可能　マルチヘッドオペレーション GPSと同期可能　RGA/CIS モード

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