超精密・表面微細加工
ナルックス株式会社

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この製品について

■表面微細加工とは表面微細加工技術とは、製品や金型の表面に光の波長より小さい、非常に微細な構造のパターンを構成することにより、さまざまな光学目的、または物理的機能の付与を可能にする技術を指しています。

■ナルックスのリソグラフィー技術・ナルックスでは自社に保有するリソグラフィー機器による表面微細構造の開発と製造、また東北大学内　ナノテク融合支援センター　微細加工プラットフォームの半導体プロセス装置の利用による研究開発の深化を進めるなど、豊富な設備環境をもって表面微細加工の研究開発に力をいれております。
・回折光学素子やマイクロレンズアレイといったナノメートル精度の光学素子の加工はもちろん、生物が持ちうる表面構造を模倣することで物質の表面に同様の物理的機能 (反射防止、撥水機能など) を付与させるといったバイオミメティクスの観点に沿った開発・研究を進め、これまでにない新しいビジネスの開拓を目指しております。
・また、ナルックスでは微細構造の受託加工も受け賜っております。 これまで培ってきたノウハウを生かし、皆様のアイデアを実現するためのお手伝いをいたします。 新規微細構造の提案・設計・試作から形状・光学特性の評価まで一貫した開発体制で対応いたします。

リソグラフィー加工 対応例
■レジストパターニングマスク露光、レーザー描画、電子ビーム描画

■形状転写UVインプリント、電鋳

■エッチングプラズマエッチング、ウエットエッチング

■薄膜生成スパッタリング、リストオフプロセス