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マルチポイントラングミュアプローブ測定システム-アリオス株式会社

マルチポイントラングミュアプローブ測定システム
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この製品について

■概要

ラングミュアプローブ方式により、プラズマパラメーターを多点で測定するシステムです。 ターゲットあるいはサンプル上の各種プラズマパラメーター分布測定に便利です。マルチポイント対応の処理ソフトウェアLMP-100SCANにより効率よく測定ができます。プラズマ測定や診断に関するQ＆Aは相談室：ラングミュアプローブに掲載しております。併せてご覧下さい。

■特徴

・マルチポイントラングミュアプローブにより多点でのプラズマパラメーター測定が可能になるため、これらの分布が容易に測定できます。 ・測定点数を 1～100点まで自由に選択することが可能です。 ・選択した測定点数に応じて、多点切換ユニットも2種類用意しております。

■システム構成

・マルチポイントラングミュアプローブ ・マルチポイントラングミュアプローブ処理ソフトウェア LMP-100SCAN ・ソースメジャーユニット (4象限電源－最短ソースメジャーサイクルは 1ms) ・GS610 電圧電流範囲±110V、±500mA (横河電機社TM 製) ・GPIBコントローラ ・GPIB-USB-HS (日本ナショナルインスツルメンツ社TM 製) ・多点切換ユニット ・JIS規格ラックマウントタイプ (H49mm×W480mm×D300mm) (対応点数 1～100点) ・直置BOXタイプ (H58mm×W200mm×D300mm) (対応点数 1～16点) ・パーソナルコンピューター (PC)

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    マルチポイントラングミュアプローブ測定システム

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アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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