マルチポイントラングミュアプローブ測定システム-マルチポイントラングミュアプローブ測定システム

マルチポイントラングミュアプローブ測定システム
アリオス株式会社

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この製品について

■概要ラングミュアプローブ方式により、プラズマパラメーターを多点で測定するシステムです。 ターゲットあるいはサンプル上の各種プラズマパラメーター分布測定に便利です。マルチポイント対応の処理ソフトウェアLMP-100SCANにより効率よく測定ができます。プラズマ測定や診断に関するQ＆Aは相談室：ラングミュアプローブに掲載しております。併せてご覧下さい。

■特徴・マルチポイントラングミュアプローブにより多点でのプラズマパラメーター測定が可能になるため、これらの分布が容易に測定できます。
・測定点数を 1～100点まで自由に選択することが可能です。
・選択した測定点数に応じて、多点切換ユニットも2種類用意しております。

■システム構成・マルチポイントラングミュアプローブ
・マルチポイントラングミュアプローブ処理ソフトウェア LMP-100SCAN
・ソースメジャーユニット (4象限電源－最短ソースメジャーサイクルは 1ms) 
・GS610 電圧電流範囲±110V、±500mA (横河電機社TM 製) 
・GPIBコントローラ
・GPIB-USB-HS (日本ナショナルインスツルメンツ社TM 製) 
・多点切換ユニット
・JIS規格ラックマウントタイプ (H49mm×W480mm×D300mm) (対応点数 1～100点) 
・直置BOXタイプ (H58mm×W200mm×D300mm) (対応点数 1～16点) 
・パーソナルコンピューター (PC) 