シングルラングミュアプローブ LPMシリーズ
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この製品について

■概要簡便にプラズマ診断 (計測) を行う方法の1つ、ラングミュアプローブ法。プラズマ中に探針を挿入し、その電圧電流特性を測定、解析し、プラズマパラメーターを得ることで、プラズマの電子温度、プラズマ密度を診断します。
LPMシリーズは単針型のラングミュアプローブ式プラズマ測定ユニットであり、最も基本的な形状になっています。専用処理ソフトにより市販の4象限電源を制御し、処理を自動化することで電子温度、プラズマ密度測定の利便性を最大限に追求しています。どのような装置、条件でプラズマ診断を考えているのかなど使用環境をふまえ、プローブ形状や仕様を決定しますので、ぜひお気軽にご相談下さい。

■特徴・専用処理ソフトにより高速測定が可能になり、成膜装置での使用も可能です。
・真空容器内で直線移動が可能です。 (Oリング軸シール式) 
・取付予定の装置にあわせ、ストロークなどの選定が可能です。
・関節を設けた屈曲型をラインナップ。先端を任意で曲げることが可能です。
・アルミナ管及びプローブを容易に交換することが可能です。
・市販の4象限電源を使用することが可能です。
・屈曲型には回転機構付きもラインナップしており、より広範囲での測定が可能です。
・RFノイズ対策用にフィルターをご用意。 (オプション) 
・モーター付の自動駆動タイプもご用意。 (オプション) 

■自動測定構成・シングルラングミュアプローブ
・ソースメジャーユニット (推奨電源) 
・処理ソフトウェア LMP-100SCAN ＋PC、GPIBコントローラ

■自動測定構成 (自動駆動制御) (オプション構成) ・シングルラングミュアプローブ＋コントローラ電源
・ソースメジャーユニット (推奨電源) 
・処理ソフトウェア LMP-100SCAN ＋PC、GPIBコントローラ

■対応電源横河電機社TM製 GS610 電圧電流範囲 ±110V.±500mA

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
シングルラングミュアプローブ LPMシリーズ

取扱企業
アリオス株式会社

カテゴリ

センサー

電流プローブ

検査装置

テストプローブ

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シングルラングミュアプローブ LPMシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	挿入ストローク	最小挿入長	接続フランジ	プローブ材質	プローブ径	コネクタ	ケーブル	保管容器
	LPM-100S	要見積もり	50~500mm (標準200mm) ※500mm以上はご相談下さい。	50~200mm	φ70CF (標準)	タングステン	φ1.5mm (標準)	BNC	3m	アクリル保管容器