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インターロックバルブ ILV-01シリーズ-インターロックバルブ ILV-01シリーズ
インターロックバルブ ILV-01シリーズ-アリオス株式会社

インターロックバルブ ILV-01シリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

ILV-01型インターロックバルブは、通常は手動バルブとして使用でき、停電時などには自動的にクローズするユニークな機能を持ちあわせたバルブです。 排気系の安全対策、停電対策に最適です。ポンプ電源 (AC90~260V) に接続するだけで、ポンプの停止と同時にバルブが閉じ、真空容器などを真空保管します。

■特徴

・通電中は手動バルブとして機能します。 ・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です。 ・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。 ・電源入力電圧が、AC90~260Vまで切り替えをせずにご使用頂けます。 ・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です。 ・タイミングリークバルブ (TLV-02) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。

■使用方法

付属の電源コネクターに電源を接続し、電源を入力すると手動バルブ操作が可能です。バルブ開時に電源を切断すると、瞬時にバルブが閉じます。 (通電後、手動にて一度閉動作することで、開動作が可能になります。)

■標準構成

・インターロックバルブ本体 (ILV-01) 1式 ・入力ケーブル (2m) 1式

■型式指定方法

フランジの仕様により、2タイプご指定頂けます。

  • シリーズ

    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

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インターロックバルブ ILV-01シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用圧力 弁座漏れ 使用周囲温度 取付姿勢 フランジ 全開時コンダクタンス バルブボディ材質 シール材質 動作時間 電源入力 ライフサイクル 質量
インターロックバルブ ILV-01シリーズ-品番-インターロックバルブ ILV-01シリーズ

インターロックバルブ ILV-01シリーズ

要見積もり

大気圧~10^-7Pa

6.7×10^-11Pa・m^3/sec以下

0~50℃

指定なし

CF70、NW40 (特別仕様可)

25L/sec

SUS304

フッ素ゴム

約0.1sec

AC90~260V 0.2A

1万回 (常温で使用)

2.3kg (CF70タイプ)
2.0kg (NW40タイプ)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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