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タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ-タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ
タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ-アリオス株式会社

タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

TLV-02型タイミングリークバルブは、電源が切れてから25秒あるいは45秒後にバルブが開くバルブです。真空経路をゆっくりと大気開放する用途に最適で、停電時などにTMPやRPのオイルバック防止に使用できます。電源はAC90~260V、またはDC24Vに対応しており、電源が切れると、自動的に遅延大気開放動作を行います。バルブシールはバイトンOリングです。排気系を大気開放し真空容器を真空保管する場合は、ゲートバルブなどを併用して下さい。

■特徴

・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。 ・TMPやRP等に直接取り付けることができます。 ・遅延時間が25秒のSタイプと45秒のLタイプ、2種類からご指定いただけます。 ・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。 ・電源入力電圧はAC90~260VとDC24Vに対応しています。 ・インターロックバルブ (ILV-01) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。

■使用方法

付属の電源コネクターに電源を接続し、電源を入力するとバルブが閉じます。電源を切断し、遅延時間を経過するとバルブが開きます。 (通電30分までの遅延時間は電源入力時間に依存します)

■型式指定方法

遅延時間は2タイプ、接続口の口径で4タイプよりご指定いただけます。

  • シリーズ

    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

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タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用圧力 弁座漏れ 使用周囲温度 取付姿勢 フランジ ガス導入口 バルブオリフィス Cv値 バルブボディ材質 バルブシール 遅延時間 (30分通電時) 電源DC入力時 電源AC入力時 質量
タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ-品番-タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

要見積もり

0~0.3 MPa

1.3×10^-8 Pa・m^3/Sec以下

0~50℃

指定なし

NW-10, 16, 25, 40 (特別仕様可)

Rc 1/8 (エアフィルター 付属)

1.2mm

0.05

SUS 303

バイトン Oリング

TLV-02-S型 25秒±10秒 (TYP)
TLV-02-L型 45秒±10秒 (TYP)

TLV-02-L型 45秒±10秒 (TYP)

AC90~260V 0.07A (TYP)

520g

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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