XYZステージ
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この製品について

■概要2つのフランジ間で、それぞれの軸中心のオフセット及び面間距離を可変可能な中空XYZステージです。簡易型XY機構 (SXYシリーズ) との差は、マイクロメーターを搭載しており、精密な位置調整ができます。3軸の移動機構により試料ホルダーや試料加熱機構、各種導入機、その他コンポーネントの位置調整に最適です。

■特徴・オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
・MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空装置用に最適です。
・φ70CF～φ203CF まで対応しています。
・X-Y移動はマイクロメーターヘッドとクロスローラーベアリングによる精密移動です。
・トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機などと組み合わせることにより、真空内への多軸運動伝達が行えます。

■オプション－SD ミツトヨTM 製デジタルスケール

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
XYZステージ

取扱企業
アリオス株式会社

カテゴリ

ステージ

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XYZステージ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	フランジ1	フランジ2	ストローク量 (z)	最小内径	ベーキング温度	リーク量	ストローク量	ベローズ内径	材質
	XYZ70114-50	要見積もり	φ70	φ114	50mm	φ38mm	最高 200℃	6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下	X－Y 各 ±10mm	φ50	ベローズﾞ部－SUS 316、その他－SUS 304