RFプラズマ実験装置 RFPC-550
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この製品について

■概要本装置は実験用RFプラズマ装置で、RFプラズマ源、基板加熱機構、ガス供給系、ロードロック室より構成しており、各種原料ガスをプラズマ化し、基板処理が可能です。ガス種・ガス圧などの条件を変化させることにより、広範囲なプラズマ処理実験が可能です。プラズマ源を自社設計する当社だからこそ可能な柔軟設計。お客様の要求仕様に応じて設計、製造致します。

■特徴・自動マッチングにより簡単操作になっております。
・コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、容易にメンテナンスが可能です。
・RFに対する高電圧感電防止のためのインターロック (真空の時のみRFが印加可能) を装備しています。
・高周波漏洩対策、停電などに対しても安全に停止するような機構を装備しています。
・オプションでロードロック機構を追加可能です。基板導入は大気開放することなく極めて簡単に、かつ短時間に行えます。

■オプション・基板加熱機構 ： 最高加熱温度 900℃、基板位置上下可変、電源DC電源＋温度調節器
・ロードロック室 ： TMP＋RP
・処理室 ： RP＋フォアライントラップ (オイルミストトラップ) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
RFプラズマ実験装置 RFPC-550

取扱企業
アリオス株式会社

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RFプラズマ実験装置 RFPC-550 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	プラズマ源	RF出力電力	処理室	ロードロック室	基板ホルダー	対向電極	真空排気系	ガス供給系	真空計	本体架台	電源部	用力
	RFPC-550	要見積もり	RF ： 0~500W 可変＋自動マッチングBOX (手動チューニング可能) (誘導結合又は容量結合、反応管： φ40×36 石英管)	0~550W (13.56MHz±1kHz)	SUS 304 製	SUS 304 製ハッチポート＋Oリング式トランスファーロッド	材質：アルミ、240mm×300mm (MAX) 、RF 印可電極	材質：アルミ、240mm×300mm (MAX) 、上下駆動 Oリング式手動	メインポンプ RP＋オイルミストトラップ	ニードルバルブ 2系統 (又はマスフローコントローラー)	サーモカップル真空計 (又はダイヤフラムゲージ)	キャスター、アジャスター付き (電源部を含む) 、本体重量約300kg	ブレーカBOX 1式、RPスイッチパネル 1式、真空計コントローラ 1式、RF電源	AC200V 3相 20A (最大) プロセスガス：不活性ガス SwagelokTM 1/4 又は VCRTM 1/4 2系統