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マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-1000取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | プラズマ源 | マイクロ波出力電力 | 基板 | 真空計 | 到達真空度/到達圧力 | リーク量 | ガス種 | 試料交換 | 基板上下機構 | 基板加熱機構 | 本体架台 | 用力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
MiPC-1000 |
要見積もり |
石英導波管直交方式 |
0~1,000W (2.45GHz ± 50MHz) |
φ20mm 基板対応 |
コールドカソードピラニ－ゲージ、キャパシタンスゲージ |
5.0×10^-4 Pa以下 (ターボ分子ポンプ使用時) |
1.0×10^-8 Pa・m^3/sec以下 (Oリング 透過分を除く) |
H2 、Ne、N2 、Ar、O2 、CH4 、etc... |
交換用ハッチ |
ストローク 235mm |
最高加熱温度 1,000℃ |
キャスター、アジャスター付き (電源部を含む) |
AC100V 20A、AC200V 3相 20A |
