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近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP-NIR-GFP
近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP-株式会社レーザー計測

近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP
株式会社レーザー計測



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この製品について

■概要

NIR-GFPは、従来の可視光を光源とした光弾圧システムでは計測が難しかった、シリコンなどの半導体のチップやウェハーの残留応力の分布を赤外線を光源として自動的に計測するシステムです。

  • シリーズ

    近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP

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近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定レンジ 繰り返し精度 精度 フレームレート 分解能 焦点距離 カメラインターフェイス
近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP-品番-NIR-GFP

NIR-GFP

要見積もり

1/2λ

2%

0-10nm ±0.5nm
0-100nm ±0.5nm
100-range ±5%

10f/s

カメラ依存

20mm、30mm固定

GigE

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