近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP
株式会社レーザー計測

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この製品について

■概要NIR-GFPは、従来の可視光を光源とした光弾圧システムでは計測が難しかった、シリコンなどの半導体のチップやウェハーの残留応力の分布を赤外線を光源として自動的に計測するシステムです。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	測定レンジ	繰り返し精度	精度	フレームレート	分解能	焦点距離	カメラインターフェイス
	NIR-GFP	要見積もり	1/2λ	2%	0-10nm ±0.5nm 0-100nm ±0.5nm 100-range ±5％	10f/s	カメラ依存	20mm、30mm固定	GigE