2つのイオン源を装備 SEM用イオンミリング装置 Model 1061 SEM Mill
ムサシノ電子株式会社

Model 1061

W660mm × D520mm × H330mm
W660mm × D520mm × H620mm (実体顕微鏡含む)

73kg

・TrueFocusイオン源 (ビーム径が可変) を2つ搭載
・加速電圧 (100eV~10keV)
・ビーム電流密度 (~10mA/cm2)
・ミリング角度 (0°~+10°)

・左右イオン源の加速電圧を個別に制御
・ビーム径が可変

・平面ミリング用ホルダー
・包埋試料用ホルダー
・断面試料用ホルダー (オプション)

・試料サイズ
・断面試料
最大：10mm×10mm×4mm
最小：3mm×3mm×0.7mm・平面試料

・平面ミリング用ホルダー
・包埋試料用ホルダー
・断面試料用ホルダー (オプション)

液体窒素により‐170℃までの冷却が可能
下記2種類のデュワーサイズから選択
・標準タイプ：3~5時間の冷却
・長時間タイプ：18時間以上の冷却

試料上部 (反射照明) 及び試料下部 (透過照明) の2つの照明を装備

タイマー、温度、レーザー検知 (オプション) による制御

・ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)による排気機構
・コールドカソード及びフルレンジゲージによる真空度測定

・アルゴンガス (99.999%) 供給ガス圧15psi
・2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御

・10インチタッチパネル
・シグナルタワー (オプション)

・ロードロック上部に下記顕微鏡の搭載が可能
・7~45×実体顕微鏡
・1,960×高倍率デジタルマイクロスコープ

・実体顕微鏡 (7~45倍) または高倍率デジタルマイクロスコープ (1960倍) により、ミリング位置にある試料の観察が可能
・シャッターが自動開閉し、観察窓がスッパタリングにより汚れることを防止

真空中または不活性ガス中での試料の移動または保管が可能

100VAC　50/60Hz　720W

1年間