2つのイオン源を装備 SEM用イオンミリング装置 Model 1061 SEM Mill-Model 1061

2つのイオン源を装備 SEM用イオンミリング装置 Model 1061 SEM Mill ムサシノ電子株式会社

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この製品について

高品質SEM用試料を作成するためのイオンミリング装置です。あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを実行可能です。

■特長・Model 1061 SEM Millはダメージのない高品質の走査型電子顕微鏡  (SEM)  用試料を作製するためのイオンミリング装置です。
・2つのイオン源を装備しており、2方向からの高速ミリングが可能です。
・サンプル位置の自動検出機能を搭載しており、あらゆる高さのサンプルに対してステージ位置を自動調整します。
・オプションの断面試料用ローディングステーションを用いれば、ミリング位置と遮蔽マスクを正確にアラインメントできる為、高品質の断面試料が作成できます。
・フォーカス調整によりビーム径の調整が出来ることも特徴で、あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを行えます。

ディンプリング研磨、超音波ディスクカット等の従来技術を用いた試料作製や、濃縮イオンビームによるダメージの無い試料生成によって、電子顕微鏡観察に最適な環境を構築するE.A. Fischione Instruments, Inc.社の装置です。またプラズマクリーナーによって試料およびホルダーから、試料の組成や性質を変えることなく、有機物質のみを除去することで、TEM、SEM電子顕微鏡観察に最適な環境を実現します。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
2つのイオン源を装備 SEM用イオンミリング装置 Model 1061 SEM Mill

取扱企業
ムサシノ電子株式会社

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2つのイオン源を装備 SEM用イオンミリング装置 Model 1061 SEM Mill 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	本体寸法	本体重量	イオン源	角度設定	試料ホルダー	試料ステージ	断面試料用ローディングステーション (オプション)	試料冷却 (オプション)	照明	自動停止	真空システム	プロセスガス	UI	顕微鏡 (オプション)	観察イメージング	真空 / 不活性ガス封入移動カプセル (オプション)	電源	保証期間
	Model 1061	要見積もり	W660mm × D520mm × H330mm W660mm × D520mm × H620mm (実体顕微鏡含む)	73kg	・TrueFocusイオン源 (ビーム径が可変) を2つ搭載・加速電圧 (100eV~10keV) ・ビーム電流密度 (~10mA/cm2) ・ミリング角度 (0°~+10°)	・左右イオン源の加速電圧を個別に制御・ビーム径が可変	・平面ミリング用ホルダー・包埋試料用ホルダー・断面試料用ホルダー (オプション)	・試料サイズ・断面試料最大：10mm×10mm×4mm 最小：3mm×3mm×0.7mm・平面試料	・平面ミリング用ホルダー・包埋試料用ホルダー・断面試料用ホルダー (オプション)	液体窒素により‐170℃までの冷却が可能下記2種類のデュワーサイズから選択・標準タイプ：3~5時間の冷却・長時間タイプ：18時間以上の冷却	試料上部 (反射照明) 及び試料下部 (透過照明) の2つの照明を装備	タイマー、温度、レーザー検知 (オプション) による制御	・ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)による排気機構・コールドカソード及びフルレンジゲージによる真空度測定	・アルゴンガス (99.999%) 供給ガス圧15psi ・2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御	・10インチタッチパネル・シグナルタワー (オプション)	・ロードロック上部に下記顕微鏡の搭載が可能・7~45×実体顕微鏡・1,960×高倍率デジタルマイクロスコープ	・実体顕微鏡 (7~45倍) または高倍率デジタルマイクロスコープ (1960倍) により、ミリング位置にある試料の観察が可能・シャッターが自動開閉し、観察窓がスッパタリングにより汚れることを防止	真空中または不活性ガス中での試料の移動または保管が可能	100VAC　50/60Hz　720W	1年間