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設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー-PJ-2
設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー-ムサシノ電子株式会社

設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー
ムサシノ電子株式会社

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■特長

・設定された研磨量の自動研磨が可能なホルダーです。 ・研磨量の設定精度は±3μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き) で調整可能です。 ・研磨後の薄片厚み精度を±1µm以内に抑えます。 ・バックラッシュゼロのストッパー付きです。 ・ストローク幅は5mmです。

■用途例

・2インチ~4インチウェハーやウェハーチップの精密研磨 ・バックサイドSIMS試料作成用の多膜層付きのウェハーチップ (□5mm~□10mm) のSi基盤を残り厚み1μm~2µmまでの研磨

  • シリーズ

    設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー

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設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 対応保持ユニット 試料厚み 試料取り付け 標準付属品
設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー-品番-PJ-2

PJ-2

要見積もり

コロ式

Φ98mm

Φ2in.

t5mm

ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。

研磨量設定リング
ホルダースタンド
専用ウェイト

設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー-品番-PJ-3

PJ-3

要見積もり

コロ式

Φ130mm

Φ3in.

t5mm

ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。

研磨量設定リング
ホルダースタンド
専用ウェイト

設定された研磨量の自動研磨が可能 真空チャック式ホルダー-品番-PJ-4

PJ-4

要見積もり

コロ式

Φ140mm

Φ4in.

t5mm

ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。

研磨量設定リング
ホルダースタンド
専用ウェイト

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この商品の取り扱い会社情報

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4.9時間

会社概要

ムサシノ電子株式会社は1977年に創立された、精密加工機械のメーカーです。 精密研磨装置・ダイヤモンドワイヤーを巻きつけ、引っ張ることで切断するダイヤモンドワイヤーソー・精密切断機である精密ブレードソーといった研磨装置...

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  • 本社所在地: 東京都
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