設定された研磨量の自動研磨が可能真空チャック式ホルダー
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この製品について

■特長・設定された研磨量の自動研磨が可能なホルダーです。
・研磨量の設定精度は±3μm以下  (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)  で調整可能です。
・研磨後の薄片厚み精度を±1µm以内に抑えます。
・バックラッシュゼロのストッパー付きです。
・ストローク幅は5mmです。

■用途例・2インチ～4インチウェハーやウェハーチップの精密研磨
・バックサイドSIMS試料作成用の多膜層付きのウェハーチップ  (□5mm～□10mm)  のSi基盤を残り厚み1μm～2µmまでの研磨

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
設定された研磨量の自動研磨が可能真空チャック式ホルダー

取扱企業
ムサシノ電子株式会社

カテゴリ

治具

治具部品

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設定された研磨量の自動研磨が可能真空チャック式ホルダー品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	対応保持ユニット	外径 Φ98mm Φ130mm Φ140mm	ガラス板　径 Φ2in. Φ3in. Φ4in.	試料厚み	試料取り付け	標準付属品
PJ-2	要見積もり	コロ式	Φ98mm	Φ2in.	t5mm	ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。	研磨量設定リングホルダースタンド専用ウェイト
PJ-3	要見積もり	コロ式	Φ130mm	Φ3in.	t5mm	ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。	研磨量設定リングホルダースタンド専用ウェイト
PJ-4	要見積もり	コロ式	Φ140mm	Φ4in.	t5mm	ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。	研磨量設定リングホルダースタンド専用ウェイト