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サーモチャック-TCP4
サーモチャック-株式会社アポロウエーブ


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この製品について

■特徴

・加熱、冷却の温度制御可能なチャックステージ。 ・50mm、4インチ~12インチサイズまでラインナップしています。 ・RT~+400℃、-55~+350℃の温度範囲でラインナップしています。 ・仕様によりヒーター、チラー、ペルチェを組合せて提案します。 ・微小電流測定から高電圧、大電流測定の仕様をラインナップしています。 ・DC電源の使用により、低ノイズとなっています。

■オプション

・温度範囲による価格設定 ・チャックのトライアキシャル接続 ・チャックの高電圧・大電流対応化 ・各種測定器接続に合わせた構造 ・空冷、水冷の対応

  • シリーズ

    サーモチャック

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サーモチャック 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 備考
サーモチャック-品番-TCP4

TCP4

要見積もり

4インチ 最大-40~+125℃

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社アポロウエーブは2000年に設立した、半導体向けプローバー・プローブガードの専門メーカーです。 プローバー・プローブガードは半導体の電気的検査に用いられる器具で、半導体製造工程で用いられています。様々な形状、極...

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  • 本社所在地: 大阪府
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