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真空セミオートプローバ―-真空セミオートプローバ―
真空セミオートプローバ―-株式会社アポロウエーブ

真空セミオートプローバ―
株式会社アポロウエーブ

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この製品について

■特徴

・真空環境、ガス環境での極低温、高温の自動測定、有機デバイス、パワーデバイスに。 ・4インチ角までのサンプルサイズに対応した真空セミオートプローバです。 (6インチもラインナップ追加予定) ・多数デバイスを連続的に自動で測定できるので、効率的な測定が実施できます。 ・-190℃～+200℃のステージを搭載。 ・設計上の到達真空度は1×10-3Pa台。 ・真空環境とすることにより、高電圧測定での放電対策に有効。 (パワーデバイスの高電圧測定) ・セミオートプローバーAPシリーズと共通の、オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。 ・モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。 ・GP-IB通信で、半導体パラメータアナライザなどの測定器、上位PCからセミオートプローバを制御することが可能です。

  • シリーズ

    真空セミオートプローバ―

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株式会社アポロウエーブ

会社概要

株式会社アポロウエーブは2000年に設立した、半導体向けプローバー・プローブガードの専門メーカーです。 プローバー・プローブガードは半導体の電気的検査に用いられる器具で、半導体製造工程で用いられています。様々な形状、極...

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  • 本社所在地: 大阪府

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