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マニュアルプローバー α100-α100
マニュアルプローバー α100-株式会社アポロウエーブ

マニュアルプローバー α100
株式会社アポロウエーブ



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この製品について

■特徴

・4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバ。 ・4インチまでのウエハサイズに対応したコンパクトなプローバです。 ・ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。 ・プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。 ・使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。 ・2020年6月出荷分より新モデルに切り替わりました。 ・現モデルで好評を頂いております、新α100は、よりコンパクトになりました。 ・Z位置切り替えレバーが手前/横方向レバー操作から、左奥/上下方向レバー操作になり、より扱いやすくなりました。 ・Z微動の調整範囲が5mm→10mmに拡大しました。

■アプリケーション

・微小電流IV測定 (fAレベル) ・CV測定 ・高周波測定 ・シート抵抗等の各種抵抗測定 ・温度特性試験

■オプション

・室温~300℃のホットチャック ・チャックのトライアキシャル接続 ・シールドボックスとのセット ・プローブカード (4.5インチ角形基板)

■選べる光学系

・実体顕微鏡 (標準) ・三眼実体 顕微鏡 ・ズームマイクロCCDカメラ

■接続が想定される測定器

・半導体パラメータアナライザ ・ソースメジャーユニット ・カーブトレーサ ・LCRメータ ・デジタルマルチメータ ・インピーダンスアナライザ ・ネットワークアナライザ ・その他、各社の各種測定器

  • シリーズ

    マニュアルプローバー α100

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マニュアルプローバー α100 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ウエハサイズ ステージXY 移動範囲 (粗動) ステージXY 移動範囲 (微動) ステージθ移動範囲 プラテンZ軸粗動 プラテンZ軸微動 外形寸法 (W×D×H) 重量
マニュアルプローバー α100-品番-α100

α100

要見積もり

チップ, ~4インチ

X:110mm Y:130mm

X:±6.5mm Y:±6.5mm

±5°

0ー0.3ー5mm (3段)

10mm

413×390×470mm

25kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社アポロウエーブは2000年に設立した、半導体向けプローバー・プローブガードの専門メーカーです。 プローバー・プローブガードは半導体の電気的検査に用いられる器具で、半導体製造工程で用いられています。様々な形状、極...

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  • 本社所在地: 大阪府
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