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マニュアルプローバー α150 / α200 / α300取扱企業
株式会社アポロウエーブカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY 移動範囲 (粗動) | ステージXY 移動範囲 (微動) | ステージθ移動範囲 | プラテンZ軸粗動 | プラテンZ軸微動 | 外形寸法 (W×D×H) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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α150 |
要見積もり | ~6インチ | X：150mm Y：200mm | X：±12.5mm Y：±12.5mm | ±5° | 0ｰ0.3ｰ5mm (3段) | 10mm | 540×635×602mm | 70kg |
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ステージXY 移動範囲 (微動) が X：±12.5mm Y：±12.5mm の プローバー
