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マニュアルプローバー α150 / α200 / α300取扱企業
株式会社アポロウエーブカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY 移動範囲 (粗動) | ステージXY 移動範囲 (微動) | ステージθ移動範囲 | プラテンZ軸粗動 | プラテンZ軸微動 | 外形寸法 (W×D×H) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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α150 |
要見積もり |
~6インチ |
X：150mm Y：200mm |
X：±12.5mm Y：±12.5mm |
±5° |
0ｰ0.3ｰ5mm (3段) |
10mm |
540×635×602mm |
70kg |
