省エネ水噴霧加湿システムミストノズル Mist Nozzle-Mist Nozzle

省エネ水噴霧加湿システムミストノズル Mist Nozzle
株式会社CHAMPION CORPORATION

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この製品について

日本宇宙航空研究開発機構 (JAXA) で開発された技術をもとに民間用に転用した製品です。Mistは小さい滴で物体にあたっても破壊されず、ぬれないので加湿、冷却、空気浄化などに使える新環境製品であります。加湿にかかるCO2排出量は蒸気式に比べて20分の1以下で、二流体の水噴霧加湿システムです。

特許第3826196 液幕形成 Air Blast 微粒化ノズル。特許第3498142 壁面追突式液体微粒化ノズル。

■開発の背景半導体・FPDなどのクリーンルームでは、温度・湿度管理のために、年間を通じて冷房と加湿が必要とされ、床面積あたりの消費エネルギーが一般事務所ビルの約10倍も大きいという特徴があります。冬期はクリーンルームに入れた外気を室内条件まで加湿する必要があり、±5%の高精度な湿度管理を要求される場合、通常蒸気加湿が使われます。

このような高精度制御を省エネルギーで実施する方法として、JAXAの開発技術を転用し、高圧空気と純水を用いた水噴霧加湿システムを開発しました。

■POINT・JETエンジンの燃焼効率を最高に上げるための技術
・液滴の均一性
・超微細な粒経の必要性
・液体を薄い液膜にして気流にさらすことにより液体を微細な粒子に分裂させる

■システムの概要本システムは、ミストを噴霧する二流体ノズル、噴霧水量を制御する制御弁、湿度センサ、ポンプ、制御装置から構成されています。二流体ノズルから噴霧されるミストの平均粒径は5～20μmであり、ON/OFF動作の加湿弁を時間比例制御する技術を確立することで、高精度な湿度制御が出来ます。

■システムの特長・優れた省エネ効果：クリーンルームの発熱を利用して、ミストを直接気化することで、外調機での蒸気加湿を低減します。また、冷凍機の消費エネルギーの低減にもつながり、二重に省エネが図れます。
・少ないCO2排出量：水1トンを加湿するためのCO2排出量で比較すると、蒸気式では年間160kg-CO2であるのに対し、本システムは20分の1以下の排出量となります。
・優れた制御性：連続的な噴霧量を制御することが難しい高圧一流体ノズルに対し、独自に時間比例制御技術を用いて優れた制御性を確保しています。
・水滴の漏洩がない：従来、噴霧の開始・停止時に見られた、ノズルからの水滴の漏洩を、独自の技術で防止します。