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New Generation Cryo SEMと大気非曝露への応用 高真空多機能コーター EM ACE600-EM ACE600
New Generation Cryo SEMと大気非曝露への応用 高真空多機能コーター EM ACE600-ライカマイクロシステムズ株式会社

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この製品について

FE-SEMやTEMの高分解能解析に向けて、非常に薄く粒状性の良い導電性金属およびカーボンのコーティング膜を成膜できます。

■コーターを超えた展開 New Generation Cryo SEMと大気非曝露への応用

FE-SEMやTEMで要求される、非常に薄く均質でかつ高い粒状性の誘電性金属およびカーボンのコーティング層を成膜する高真空多機能コーターです。EM VCT500とのコンビネーションにより、制御された環境 (真空・温度) のもとコンタミネーションフリーな試料作製をご提供します。

■主な機能・特長

・オイルフリー高真空排気システム、水晶膜厚測定ユニット、電動ステージ ・ワンタッチオペレーションと高い再現性 ・フリーズフラクチャー、フリーズエッチングのための温度制御されたステージ ・モーター制御の高さ調整を備えた割断ナイフ ・制御された環境 (真空、温度、雰囲気) 下でのトランスファー ・電子ビーム蒸着

  • シリーズ

    New Generation Cryo SEMと大気非曝露への応用 高真空多機能コーター EM ACE600

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New Generation Cryo SEMと大気非曝露への応用 高真空多機能コーター EM ACE600 品番1件

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