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リモートプラズマ装置-SLRP-01
リモートプラズマ装置-株式会社セルバック

リモートプラズマ装置
株式会社セルバック



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この製品について

独自のICPコイル設計のSLRP-01は、ガス分解に必要な電磁波をロスを少なく分解室に送り込み、高効率で高密度のプラズマを生成する事が出来ます。

■保有真空チャンバーに装着し使用する事が出来ます。

・O2プラズマ⇒有機物除去 ・Arプラズマ⇒表面洗浄 ・CF4プラズマ⇒SiO2等をダメージレスで除去

■リモートプラズマのメリット

・クリーニングガス低減 ・クリーニング速度アップ

  • シリーズ

    リモートプラズマ装置

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リモートプラズマ装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) チャンバー プラズマ方式 RF周波数 使用ガス 冷却 接続 制御方式 本体サイズ 電源
リモートプラズマ装置-品番-SLRP-01

SLRP-01

要見積もり

AlN (窒化アルミ)

ICP (誘導結合型)

13.56MHz

O2、Ar、CF4

水冷

応相談

外部入出力 (リレー) 、RS232

W350×D350×H400 (mm) 、 15kg

本体ユニット (AC100V) 、電源 (AC200V3相) 、50/60Hz

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