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プラズマ装置の製品93点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | チャンバー | プラズマ方式 | RF周波数 | 使用ガス | 冷却 | 接続 | 制御方式 | 本体サイズ | 電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SLRP-01 |
要見積もり |
AlN (窒化アルミ) |
ICP (誘導結合型) |
13.56MHz |
O2、Ar、CF4 |
水冷 |
応相談 |
外部入出力 (リレー) 、RS232 |
W350×D350×H400 (mm) 、 15kg |
本体ユニット (AC100V) 、電源 (AC200V3相) 、50/60Hz |