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多孔質埋め込みハンド-多孔質埋め込みハンド
多孔質埋め込みハンド-アスザック株式会社

多孔質埋め込みハンド
アスザック株式会社

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この製品について

■多孔質埋め込みハンドとは

スマートフォンなどに内蔵されるICチップの薄型化に伴い、薄いウエハの吸着搬送の需要が高まってきています。ウエハに吸着痕が付いてしまう問題でお困りではありませんか。 当社は、その問題を解決した多孔質埋め込みハンドを開発しました。搬送ハンドの吸着部を多孔質セラミックスにすることで、従来の吸着穴や樹脂パッドなどと比べて、ウエハに吸着痕が付きにくく、デバイスの破損を防ぎます。狭いカセットピッチにも対応が可能です。

■特長

・ウエハに吸着痕が付きにくい ・反り (230μm程度) のあるウエハの吸着が可能 ・薄いウエハ (400μm) の搬送が可能 ・狭いカセットピッチに対応が可能

■構造

白い中央部分に多孔質パッドを埋め込む仕様になります。

■形状例

アルミナ素材に多孔質セラミックスAZP60を埋め込む形状となります。多孔質セラミックスの種類はご要望に応じて選択が可能です。デモ機をご用意しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

  • シリーズ

    多孔質埋め込みハンド

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多孔質埋め込みハンド 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 用途 材質
多孔質埋め込みハンド-品番-多孔質埋め込みハンド

多孔質埋め込みハンド

要見積もり

ウエハ搬送用 (大気用)

吸着部:多孔質セラミックス
本体:アルミナ、炭化ケイ素

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アスザック株式会社は、半導体や液晶製造装置、搬送装置といったファインセラミックス製品や、縁石やマンホール、側溝といったコンクリート関連製品、気象センサや農業用センサといったセンサー関連製品、門扉やフェンスといったアルミ関...

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  • 本社所在地: 長野県
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