セラミックス吸着ハンド UniZac-air®-吸着ハンド UniZac-air®

セラミックス吸着ハンド UniZac-air®
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この製品について

■吸着ハンドとは中空一体成型技術を用い、接着材を一切使わずに真空ラインを形成した 真空チャック式セラミックスハンドです。

セラミックスの特性を活かした「耐熱性」や「同型金属製ハンドに比べて少ないタワミ」、「軽量」といった特徴があります。特に真空チャック式セラミックハンドについては、接着剤を使用しないため高温下での使用も可能で、接着剤からの有機系のアウトガス対策にも有効です。

吸着機構を備えた搬送ハンド (エンドエフェクター) には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。

メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。

真空チャック式ハンドの吸着性能につきましては、弊社社内規定により流量・リーク検査を行っております。詳しくはお問い合わせください。

■特長・ご希望の取り付け穴の加工ができます。根元から全長方向の任意の位置に穴をあける事が出来ます。
・吸着ポートの位置調整ができます。センターライン上の表側、裏側に穴をあける事が可能です。
・空洞一体のモノコック仕様は、貼り合わせ仕様より強度があります。
・コストを大幅ダウン。規格化による共通型を使用するため、従来発生する高価な型費は必要ありません。

■搬送ハンドとはシリコンウエハをロボットを使い、カセットやプロセスチャンバーからの出し入れする際に使用します。セラミックスを使う理由としましては、高強度によるタワミ削減、高温環境にも強く、金属汚染、発塵といった問題点を解決する為に使用されています。