外周3ミリ吸着式標準ハンド PeriZac®-外周3ミリ吸着式標準ハンド PeriZac®

外周3ミリ吸着式標準ハンド PeriZac®
アスザック株式会社

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この製品について

■パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンド半導体製造装置におけるエンドエフェクター (搬送ロボットの手の部分) には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。

吸着機構を備えた搬送ハンド (エンドエフェクター) には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。

PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けの製品です。

PeriZacは、Peripheral (外周) +ASUZAC の造語です。

■特長・搬送時や接触により発生するベベル部や裏面からのパーティクル発生を抑制
・ウエハにダメージを与え難い材質をガイドに採用
・アスザック独自の接着剤を使用しない空洞一体技術で薄型化が可能
・取り付け穴の加工、根本の長さ、幅の変更に対応可能
・センサー取り付けなどのオプションに対応
・大気仕様ハンド

■搬送ハンドとはシリコンウエハをロボットを使い、カセットやプロセスチャンバーからの出し入れする際に使用します。セラミックスを使う理由としましては、高強度によるタワミ削減、高温環境にも強く、金属汚染、発塵といった問題点を解決する為に使用されています。