セラミックス 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド LeviZac®-ベルヌーイハンド LeviZac®
セラミックス 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド LeviZac®-アスザック株式会社

セラミックス 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド LeviZac®
アスザック株式会社

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■ベルヌーイハンド (LeviZac®) とは

半導体の製造プロセスでは、ウエハパターンの微細化が進んでいます。ウエハへの吸着痕やダメージレス、パーティクルレスなどへの解決策として、非接触ハンドの需要が増加しています。 そこで、当社では、セラミックス製オリジナルベルヌーイハンドを開発しました。これは、独自の吹き出し穴の形状により、ウエハを吸引保持させるハンドです。 ウエハ外周3mm以内で保持が可能であり、ウエハへのダメージ低減やガイドとの接触によるパーティクル発生を抑制します。 金属製のハンドと比較して、高い強度を持ち、耐薬品性や耐熱性に優れています。また、オプションとして、ESD対策、パーティクル対策への対応も可能です。

■特長

・吹き出し穴の数や位置の変更が可能 ・反りウエハの搬送が可能 ・ガイドとの接触によるパーティクル発生を抑制 ・流路形成に接着剤を使用しない空洞一体技術で耐久性が向上

■搬送ハンドとは

シリコンウエハをロボットを使い、カセットやプロセスチャンバーからの出し入れする際に使用します。セラミックスを使う理由としましては、高強度によるタワミ削減、高温環境にも強く、金属汚染、発塵といった問題点を解決する為に使用されています。

  • シリーズ

    セラミックス 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド LeviZac®

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セラミックス 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド LeviZac® 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 用途 材質
セラミックス 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド LeviZac®-品番-ベルヌーイハンド LeviZac®

ベルヌーイハンド LeviZac®

要見積もり ウエハ搬送用 (大気用) アルミナ

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会社概要

アスザック株式会社は、半導体や液晶製造装置、搬送装置といったファインセラミックス製品や、縁石やマンホール、側溝といったコンクリート関連製品、気象センサや農業用センサといったセンサー関連製品、門扉やフェンスといったアルミ関...

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  • 本社所在地: 長野県
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