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スピンコーター MS-B100取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 最大基板サイズ | 回転数 (rpm) | 回転精度 | モーター | 蓋 | スピン室内径 | ステップ・パターン数 | 時間設定 | セーフティーインターロック | 滴下装置 | 使用真空圧 | 電源 | 外形寸法 (mm) | 重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
MS-B100 |
要見積もり |
ミカサ株式会社 |
φ4インチウエハー又は75×75mm基板 |
20~8,000 |
±1rpm (負荷時) |
ACサーボモーター |
アクリル |
φ220mm |
100ステップ×10パターン |
999.9sec |
真空 標準装備 |
取付不可 |
-0.08~-0.1MPa |
AC100~240V 5A |
259W×246H×330D |
10kg |