高精度な温度測定機能高温炉用熱電対 (半導体製造装置向け)
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この製品について

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に最適。

■基本情報高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。新品の作製はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。装置内汚染を最小限にする為、厳選した材料を使用しクリーンルーム内で製作いたします。また、高精度実現の為、厳選された素線を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。

■特徴・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。
・専用のクリーンルームにて生産しています。
・高精度を実現します。　厳選された素線 (高純度材料) を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。
・高温炉内温度を正確に測定いたします。
・最先端装置に搭載されています。
・校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能です。ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。

■用途熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとして、高温炉用装置で使用されています。