露光機関連部材 SEMI規格準拠 SMIF POD (マルチ／シングルタイプ) -SMIF POD

露光機関連部材 SEMI規格準拠 SMIF POD (マルチ／シングルタイプ)
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この製品について

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取り扱い中の機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑えます。

SMIF ポッド (SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ) は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。

■基本情報基本構成部品は金属となっており、樹脂製SMIF PODと比べ非常に高い耐久性を有します。金属製マルチレチクルカセットは、徹底した静電対策と併せて、レチクルを強固に保護することに配慮して設計されています。事前調整されたハンドリングシステムでレチクルを安全に取り扱うためにはその剛性と耐久性は必要不可欠です。クロム磨耗とレチクルの粉砕を最小限にとどめるためにレチクルとの接触部はすべてプラスチックを使用しています。高度に研磨された黒色仕上げはブライトライト検査システムでの粒子検出に効果を発揮します。

■特徴・剛性、耐久性が強化。金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。
・低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計。365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能 (プラスティックにリン酸添加物の含有無し) 
・大手露光装置メーカーにより認可済
・超音波洗浄及び純水洗浄装置に適合
・温風ノズル、放射式真空乾燥オーブンに適合
・乾燥時の最高温度: 60℃ (均一) 使用時温度：18℃～30℃

■用途国内外デバイスメーカにて採用されています。