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露光機関連部材 クリーンな環境での使用可 レチクルケース (フォトマスクケース) -レチクルケース
露光機関連部材 クリーンな環境での使用可 レチクルケース (フォトマスクケース) -株式会社渡辺商行

露光機関連部材 クリーンな環境での使用可 レチクルケース (フォトマスクケース)
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この製品について

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能。

■基本情報

レチクルケース (フォトマスクケース) は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。高帯電防止性能に優れているので、使用する際は静電気の発生を防ぎます。低アウトガス・低汚染により、クリーンな環境化で使用可能です。またレチクルとの接触部を最小にすることで、パーティクルの発生が抑制されます。

■特徴

・高帯電防止性能。高帯電防止性能により、静電気等も安心 ・低アウトガス・低汚染。クリーンな環境にて使用可能

■用途

・露光機の使用に必須なレチクルの保管 ・主要露光装置メーカーの露光装置用として、デバイスメーカーでの実績多数あり

  • シリーズ

    露光機関連部材 クリーンな環境での使用可 レチクルケース (フォトマスクケース)

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株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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