真空装置のパーティクルを低減真空破壊用ブレイクフィルター
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この製品について

真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください。

■基本情報クアーズテック株式会社と東京エレクトロン株式会社との共同開発により製品化されたブレイクフィルター™は、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。従来、ロードロック室の真空破壊にはパーティクルの舞い上がりを防ぐため窒素ガスをゆっくり導入するスローベントが用いられてきました。

ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルター™ を取り付けることにより、そのようなスローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。同時に、パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。また、スローベントとの併用で、より大きなパーティクル低減効果を期待することも可能です。

■特徴・スループットの向上。ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルター™ を取り付けることにより、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。
・パーティクルの舞い上がり防止。パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。
・ベント時間短縮
・高耐食性

■用途／実績例真空チャンバー用ディフューザー