真空装置のパーティクルを低減 真空破壊用ブレイクフィルター
株式会社渡辺商行
株式会社渡辺商行の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
60.5時間
この製品について
■基本情報
クアーズテック株式会社と東京エレクトロン株式会社との共同開発により製品化されたブレイクフィルター™は、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。従来、ロードロック室の真空破壊にはパーティクルの舞い上がりを防ぐため窒素ガスをゆっくり導入するスローベントが用いられてきました。 ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルター™ を取り付けることにより、そのようなスローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。同時に、パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。また、スローベントとの併用で、より大きなパーティクル低減効果を期待することも可能です。■特徴
・スループットの向上。ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルター™ を取り付けることにより、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。 ・パーティクルの舞い上がり防止。パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。 ・ベント時間短縮 ・ベント時間短縮■用途／実績例
真空チャンバー用ディフューザー-
シリーズ
真空装置のパーティクルを低減 真空破壊用ブレイクフィルター
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取扱企業
株式会社渡辺商行
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カテゴリ
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真空装置のパーティクルを低減 真空破壊用ブレイクフィルター 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 材料 |
|---|---|---|---|
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ブレイクフィルター™ |
要見積もり | アルミナ多孔体／シリカ多孔体 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
