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レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20-PLT-10
レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20-ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20
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この製品について

■概要

・ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザートリミングして発振周波数を調整する装置です。 ・複数同時測定により高スループットを実現しています。

■特長

・グリーンレーザー搭載による高速トリミング動作を実現 ・複数個同時測定により高スループットを実現しています。 ・高速、高精度、高信頼性測定回路採用 ・ローダ/アンローダにより自動搬送を実現しています。 ・生産管理情報をリアルタイムで表示します。 ・プローブ自動クリーニング機構付き

■使用例

ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザーで除去して発振周波数を調整する装置です。

■オプション対応

・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下の増設可能 ・専用治具交換より異なるウエハチップの複数品種対応 ・お客様の製品に最適なトリミング条件をご提案いたします。ご相談ください。例) ピコ秒、ナノ秒レーザーや近赤外、グリーンレーザーなど

■外形寸法

・NGチップ折り取り機能付き W1,400×D1,600×H1,800mm (ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く) ・NGチップ折り取り機能無し W1,000×D1,500×H1,750mm (ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く)

  • シリーズ

    レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20

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レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対象ワーク 対象ワークサイズ 同時測定数 画像位置補正 部材供給 収納 サイクルタイム オプション
レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20-品番-PLT-10

PLT-10

要見積もり

音叉型水晶振動子ウエハ (機種変更は、専用部品の交換により対応可能です。)

4インチウエハ以下

同時プロービング数 80チップ以下

チップ位置

・ローダ マガジンよりウエハ供給
・アンローダ ウエハをマガジン収納

約0.5秒/個※チップの個数、加工膜の厚み、加工量、加工回数によってタクトは変動します。

・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下に増設可能
・専用治具交換より複数品種対応

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