レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20
ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

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この製品について

■概要・ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザートリミングして発振周波数を調整する装置です。
・複数同時測定により高スループットを実現しています。

■特長・グリーンレーザー搭載による高速トリミング動作を実現
・複数個同時測定により高スループットを実現しています。
・高速、高精度、高信頼性測定回路採用
・ローダ/アンローダにより自動搬送を実現しています。
・生産管理情報をリアルタイムで表示します。
・プローブ自動クリーニング機構付き

■使用例ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザーで除去して発振周波数を調整する装置です。

■オプション対応・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下の増設可能
・専用治具交換より異なるウエハチップの複数品種対応
・お客様の製品に最適なトリミング条件をご提案いたします。ご相談ください。例) ピコ秒、ナノ秒レーザーや近赤外、グリーンレーザーなど

■外形寸法・NGチップ折り取り機能付き W1,400×D1,600×H1,800mm (ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く) 
・NGチップ折り取り機能無し W1,000×D1,500×H1,750mm (ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20

取扱企業
ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

レーザー加工機

加工・工作機器

レーザーカッター

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レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象ワーク	対象ワークサイズ	同時測定数	画像位置補正	部材供給収納	サイクルタイム	オプション
	PLT-10	要見積もり	音叉型水晶振動子ウエハ (機種変更は、専用部品の交換により対応可能です。)	4インチウエハ以下	同時プロービング数 80チップ以下	チップ位置	・ローダマガジンよりウエハ供給・アンローダウエハをマガジン収納	約0.5秒/個※チップの個数、加工膜の厚み、加工量、加工回数によってタクトは変動します。	・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下に増設可能・専用治具交換より複数品種対応