レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20
ヤマハロボティクスホールディングス株式会社
この製品について
■概要
・ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザートリミングして発振周波数を調整する装置です。 ・複数同時測定により高スループットを実現しています。■特長
・グリーンレーザー搭載による高速トリミング動作を実現 ・複数個同時測定により高スループットを実現しています。 ・高速、高精度、高信頼性測定回路採用 ・ローダ/アンローダにより自動搬送を実現しています。 ・生産管理情報をリアルタイムで表示します。 ・プローブ自動クリーニング機構付き■使用例
ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザーで除去して発振周波数を調整する装置です。■オプション対応
・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下の増設可能 ・専用治具交換より異なるウエハチップの複数品種対応 ・お客様の製品に最適なトリミング条件をご提案いたします。ご相談ください。例) ピコ秒、ナノ秒レーザーや近赤外、グリーンレーザーなど■外形寸法
・NGチップ折り取り機能付き W1,400×D1,600×H1,800mm (ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く) ・NGチップ折り取り機能無し W1,000×D1,500×H1,750mm (ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く)-
シリーズ
レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20
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レーザートリミング装置 PLT-10/PLT-20 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象ワーク | 対象ワークサイズ | 同時測定数 | 画像位置補正 | 部材供給 収納 | サイクルタイム | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PLT-10 |
要見積もり | 音叉型水晶振動子ウエハ (機種変更は、専用部品の交換により対応可能です。) | 4インチウエハ以下 | 同時プロービング数 80チップ以下 | チップ位置 |
・ローダ マガジンよりウエハ供給 ・アンローダ ウエハをマガジン収納 |
約0.5秒/個※チップの個数、加工膜の厚み、加工量、加工回数によってタクトは変動します。 |
・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下に増設可能 ・専用治具交換より複数品種対応 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 東京都