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大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt-SKIp-SLIt
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt-株式会社魁半導体

大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt
株式会社魁半導体

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この製品について

大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt (京都大学 酒井先生の技術) 多点バリア放電方式を採用した唯一の製品。 スリットタイプ幅広100mmの大気圧プラズマ装置。 パワー調整やガス流量調整機構が付き。 緻密な処理が実現。

■製品の特徴

・電源を内蔵したコントロール部が省スペースであるため、容易にインラインに搭載可能 ・処理対象物にダメージを与えません。 ・優れたコストパフォーマンス

■オプション

・供給ガス系の複数化 ・1軸ロボット X-Yロボット R to R ・タッチパネル制御 ・コーター (スプレー・ディップ・スリット) 、および、乾燥工程の追加 その他のご要望にもお応え致します。

  • シリーズ

    大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt

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大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) スリットサイズ プロセス圧力 推奨ガス ガス流量 ガス流量制御機構 電源
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt-品番-SKIp-SLIt

SKIp-SLIt

要見積もり

~100mm

大気圧

アルゴン
※他のガスでも放電はします。

最大100L/min

浮子式orMFC

AC100V・50/60Hz

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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