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シリーズ
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300取扱企業
株式会社魁半導体商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電極サイズ | プロセス圧力 | 推奨ガス | ガス流量 | ガス流量制御機構 | 電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SKIp-RTR300 |
要見積もり |
~300mm |
大気圧 |
アルゴン |
最大1,000L/min |
浮子式orMFC |
AC200V |