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大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300-SKIp-RTR300
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300-株式会社魁半導体

大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300
株式会社魁半導体

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大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300 (京都大学酒井先生の技術) 世界初、面型放電300mmロールtoロールタイプの大気圧プラズマ装置。高い処理効果で処理サンプルを高速で搬送できます。

■製品の特徴

・圧倒的な処理速度を実現 ※処理速度は対象物によります。 ・処理対象物にダメージを与えません。 ・連続処理による生産効率の向上を実現します。

■オプション

・供給ガス系の複数化 ・1軸ロボット X-Yロボット R to R ・タッチパネル制御 ・コーター (スプレー・ディップ・スリット) 、および、乾燥工程の追加

  • シリーズ

    大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300

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大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電極サイズ プロセス圧力 推奨ガス ガス流量 ガス流量制御機構 電源
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-RTR300-品番-SKIp-RTR300

SKIp-RTR300

要見積もり

~300mm

大気圧

アルゴン
※他のガスでも放電はします。

最大1,000L/min

浮子式orMFC

AC200V

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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