X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000
株式会社アイビット
この製品について
■特徴
・ウェーハ上のマイクロバンプの内部状態をX線を用いて透視検査する装置 ・バンプ内のボイド (気泡) の有無を検査し、ボイドの寸法を自動計測し許容値を超えるボイドを有する場合はNG判定を行う ・FOUPから自動で取り出し、X線装置への自動供給、自動検査、自動収納を全自動で行う。登録レシピで自動検査が可能 ・焦点径0.25μmのナノフォーカスX線管を採用、X線カメラは高解像度4MB (16bit) を採用、空間分解能0.25μmを達成 ・検査可能バンプサイズ ： φ10μm以上 ・検査可能ボイドサイズ ： バンプ高さによる (バンプ高さ20μmの場合、φ2μm以上)■検査項目
・バンプ直径測定 ・ボイド測定 ・バンプ高さ測定 ・バンプ形状検査 ・ウエーハバンプの自動観察-
シリーズ
X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000
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取扱企業
株式会社アイビット
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カテゴリ
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X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | X線管種類 | X線受像部 | 対応ウェーハ寸法 | 真空 | 圧縮エアー供給 | 供給電源 | 装置寸法 | 装置重量 | X線漏洩線量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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Six-3000 |
要見積もり | マイクロフォーカス密閉型X線源 (水冷式) | 1,600万画素高解像度フラットパネル | 12インチ | −56kPa 20N/min 接続口径⌀4 (ワンタッチ継ぎ手) | 供給圧力 0.5Mpa以上 接口径⌀8続 (ワンタッチ継ぎ手) | 3相 AC200V、6KVA | 2,210 (W) × 1,500 (D) × 1,770 (H) mm | 2,000kg | 1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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