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X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000-Six-3000
X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000-株式会社アイビット

X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000
株式会社アイビット

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この製品について

ウェーハ上のはんだバンプの検査を自動で行うX線自動検査装置。

■特徴

・ウェーハ上のマイクロバンプの内部状態をX線を用いて透視検査する装置 ・バンプ内のボイド (気泡) の有無を検査し、ボイドの寸法を自動計測し許容値を超えるボイドを有する場合はNG判定を行う ・FOUPから自動で取り出し、X線装置への自動供給、自動検査、自動収納を全自動で行う。登録レシピで自動検査が可能 ・焦点径0.25μmのナノフォーカスX線管を採用、X線カメラは高解像度4MB (16bit) を採用、空間分解能0.25μmを達成 ・検査可能バンプサイズ ： φ10μm以上 ・検査可能ボイドサイズ ： バンプ高さによる (バンプ高さ20μmの場合、φ2μm以上)

■検査項目

・バンプ直径測定 ・ボイド測定 ・バンプ高さ測定 ・バンプ形状検査 ・ウエーハバンプの自動観察

  • シリーズ

    X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000

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X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) X線管種類 X線受像部 対応ウェーハ寸法 真空 圧縮エアー供給 供給電源 装置寸法 装置重量 X線漏洩線量
X線ウェーハバンプ自動検査装置 Six-3000-品番-Six-3000

Six-3000

要見積もり

マイクロフォーカス密閉型X線源 (水冷式)

1,600万画素高解像度フラットパネル

12インチ

−56kPa 20N/min 接続口径⌀4 (ワンタッチ継ぎ手)

供給圧力 0.5Mpa以上　接口径⌀8続 (ワンタッチ継ぎ手)

3相　AC200V、6KVA

2,210 (W) × 1,500 (D) × 1,770 (H) mm

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社アイビット

会社概要

株式会社アイビットは2000年に設立された、X線自動車検査装置の開発・製造をしている会社です。 3次元X線自動検査装置、検査の対象物を破壊することなく、製品の性質などを検査する非破壊検査機器といった機器を開発・製造して...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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