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シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置 X-CAS-2-X-CAS-2
シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置 X-CAS-2-株式会社アイビット

シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置 X-CAS-2
株式会社アイビット

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この製品について

シリコンウェーハ内部の結晶欠陥ポイド (空隙) 全自動検査装置。

■特徴

・本装置はX線を用いてシリコンウェーハ内の結晶欠陥であるボイドを自動で検査します。 ・赤外線による同様な検査の手法もありますが、低い抵抗値のウェーハなどは検査が難しい、また研磨した最終工程のポリッシュウェーハでないと精度の良い検査ができないなどの条件がありました。 X線による検査方式ではそのような諸条件が必要なく、研磨前の状態 (スライス直後) であっても検査可能です。またウェーハの抵抗値に関係なく検査が可能になります。 ・検査対象シリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチとなります。 (6インチはオプション) ・安全性について：X線作業主任者などの特別な資格は必要ありません。 X線は完全に遮断されているため、安全に使用できます。

■検査項目

・ウエーハバンプの自動観察 ・シリコンウェーハ内の結晶欠陥であるボイド (空隙) ・6・8・12インチのシリコンウェーハ

  • シリーズ

    シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置 X-CAS-2

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シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置 X-CAS-2 品番1件

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シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置 X-CAS-2-品番-X-CAS-2

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会社概要

株式会社アイビットは2000年に設立された、X線自動車検査装置の開発・製造をしている会社です。 3次元X線自動検査装置、検査の対象物を破壊することなく、製品の性質などを検査する非破壊検査機器といった機器を開発・製造して...

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