シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置 X-CAS-2
株式会社アイビット

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この製品について

シリコンウェーハ内部の結晶欠陥ポイド (空隙) 全自動検査装置。

■特徴・本装置はX線を用いてシリコンウェーハ内の結晶欠陥であるボイドを自動で検査します。
・赤外線による同様な検査の手法もありますが、低い抵抗値のウェーハなどは検査が難しい、また研磨した最終工程のポリッシュウェーハでないと精度の良い検査ができないなどの条件がありました。 X線による検査方式ではそのような諸条件が必要なく、研磨前の状態 (スライス直後) であっても検査可能です。またウェーハの抵抗値に関係なく検査が可能になります。
・検査対象シリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチとなります。 (6インチはオプション) 
・安全性について：X線作業主任者などの特別な資格は必要ありません。 X線は完全に遮断されているため、安全に使用できます。

■検査項目・ウエーハバンプの自動観察
・シリコンウェーハ内の結晶欠陥であるボイド (空隙) 
・6・8・12インチのシリコンウェーハ