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微細形状測定機 ET4000M-ET4000M
微細形状測定機 ET4000M-株式会社小坂研究所

微細形状測定機 ET4000M
株式会社小坂研究所

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この製品について

■特徴

精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。高性能な汎用微細形状測定機。

  • シリーズ

    微細形状測定機 ET4000M

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微細形状測定機 ET4000M 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大サンプルサイズ 再現性 測定範囲 分解能 測定力
微細形状測定機 ET4000M-品番-ET4000M

ET4000M

要見積もり

210×210mm、300×400mm

1σ 0.5nm以内

Z:100μm X:100mm (Y移動量:150~400mm)

Z:0.1nm X:0.01μm

0.5μN~500μN

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輪郭形状測定機をフィルターから探すことができます

測定範囲

1 - 10 mm 10 - 20 mm 20 - 30 mm 30 - 40 mm 40 - 50 mm 50 - 100 mm

トラバース長

0 - 100 mm 100 - 150 mm 150 - 200 mm 200 - 250 mm 250 - 300 mm

プローブアームの長さ

100 - 200 mm 200 - 300 mm 300 - 400 mm 400 - 500 mm

ガイド偏差

0.01 - 0.03 µm / mm 0.03 - 0.05 µm / mm 0.05 - 0.07 µm / mm

測定力

0 - 1 mN 1 - 10 mN 10 - 30 mN

測定原則

白光干渉計 クロマティック - 共焦点 垂直走査低コヒーレンス干渉法 ポイントオートフォーカス法

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社小坂研究所は、精密測定機器をはじめとする産業機器の製造開発を手掛けるメーカーです。 1950年に創業し、大手メーカーに引けを取らない技術力で、70年にわたり精密測定機・産業用ポンプ・食品包装機の3分野において多様...

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  • 本社所在地: 東京都
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