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清浄度検査に新提案、エアブローで発塵・付着粒子を迅速検査 発塵検査装置 PARTiシリーズ-PARTi-1
清浄度検査に新提案、エアブローで発塵・付着粒子を迅速検査 発塵検査装置 PARTiシリーズ-株式会社東京インスツルメンツ

清浄度検査に新提案、エアブローで発塵・付着粒子を迅速検査 発塵検査装置 PARTiシリーズ
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■概要

発塵検査装置PARTi (PERSYS社製) は、クリーンルーム内で使用する (クリーンルームに持込む) 物の清浄度を迅速に検査することができる新提案の発塵検査装置です。精密加工部品・試料容器・無塵衣・グローブ類などを専用チャンバー内に設置して、HEPAフィルターを通過さえたクリーンなエアーでブローして付着粒子を吹き飛ばし、装置下部搭載のパーティクルカウンターで発塵を計測します。 検査物の前処理は不要で、専用サンプル治具も付属されており、多彩な発塵検査条件にて検査を行うことができます。検査物を液体に浸したり、ドラムで回転させたりする必要がないため、どんなものでも簡単に検査することができます。ユーザー独自の測定条件構築に便利で、ルーティン検査にも対応致します。 装置は、用途に合わせて測定粒子0.1～5.0μm用と0.3～5.0μm用の2種類をご用意しております。

■特長

・クリーンルームで使用する製品の発塵検査 治具、試料容器、無塵衣、グローブ類など ・ユーザー独自の測定条件構築 ・多彩な発塵条件　ダウンフロー&エアブロー ・専用サンプル治具付属 ・有償デモ測定対応可能

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    清浄度検査に新提案、エアブローで発塵・付着粒子を迅速検査 発塵検査装置 PARTiシリーズ

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