FE-低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90シリーズ-FE-LEEM P90

PEEM P90シリーズ
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この製品について

■概要ドイツSPECS社製のFE-LEEM/PEEM P90シリーズは、低エネルギー電子を照射し反射電子像を得るLEEMモードと、光を照射し光電子像を得るPEEMモードを選択可能な電子顕微鏡です。90°ディフレクタを用い、LEEMモードで高空間分解能5nmを実現しました。オプションの球面収差補正機能を追加することで、空間分解能は3nm (標準値、最高到達分解能1.6nm) に向上し、 スループットも従来に比べ8倍アップします。高輝度・低エネルギー分散 FE-電子銃を用いる事で、高いエネルギー分解能測定を実現します。

■特長・コンパクト、オールインワン設計
・高分解能 保証値3nm、最高到達分解能1.6nm (LEEM、球面収差補正機能追加モデル) 
・高輝度、低エネルギー分散 FE-電子銃 (半値幅300meV) 
・球面収差補正機能 (オプション) 
・高精度5軸ピエゾ試料ステージ
・高い拡張性

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
FE-低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90シリーズ

取扱企業
株式会社東京インスツルメンツ

カテゴリ

観察機器

電子顕微鏡

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FE-低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	空間分解能	観察視野	倍率	エネルギー分解能	Kineticエネルギー	占有面積	スタートエネルギー	ベースプレッシャー	LEEMスポットサイズ	電子ビームのエネルギー幅	試料ステージの位置再現精度	最高試料加熱温度
	FE-LEEM P90	要見積もり	保証値5nm (最高分解能4.2nm)	800nm~100μm	400~50,000倍	分光測定 <250meV イメージング <1.7eV	通常15keV、最小2keV	1.6×2.3m (高さ2.3m)	最大1,000eV	2×10^-10mbar	<40μm 最小200nm (マイクロ・ディフラクションのアパーチャー使用時)	<300meV	~500nm	最大1,500K (イメージング時)