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各種SPM校正やSPMプローブの評価。PTB-traceableのグレーティングも提供可能。 SPMグレーティング取扱企業
株式会社東京インスツルメンツカテゴリ
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回折格子の製品43点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 構造 | 形成パターン | ステップ高 | 周期 | チップサイズ | 有効範囲 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
TGZ1 |
要見積もり |
シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成 |
1- D (Z軸方向) |
21.6±1.5nm |
3±0.05μm |
5×5×0.5mm |
3×3 (中央部) mm |
回折格子をフィルターから探すことができます
溝数 /mm
0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,000 2,000 - 3,000分解能 nm
0 - 0.05 0.05 - 0.2 0.2 - 0.6 0.6 - 1.2 1.2 - 15波長範囲 nm
500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,500波長精度 nm
0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2迷光 %
0 - 0.01 0.01 - 0.05 0.05 - 0.2分散 nm/mr
0 - 5 5 - 10 10 - 15ブレーズ角 度
0 - 30 30 - 50 50 - 70返答率
100.0%
返答時間
22.1時間