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各種SPM校正やSPMプローブの評価。PTB-traceableのグレーティングも提供可能。 SPMグレーティング-TGZ1
各種SPM校正やSPMプローブの評価。PTB-traceableのグレーティングも提供可能。 SPMグレーティング-株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■概要

SPM校正用グレーティングです。御用途に合わせて最適なものを選択できます。SPM測定の練習用、学生実験用などにもご使用頂けます。

■特長

Z軸の較正およびノンリニアリティの検出に使用する、長さのある凹凸が繰り返されたグレーティングです。5種類のサイズから選べます。

■用途

・Z軸較正 ・ノンリニアリティ検出

  • シリーズ

    各種SPM校正やSPMプローブの評価。PTB-traceableのグレーティングも提供可能。 SPMグレーティング

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各種SPM校正やSPMプローブの評価。PTB-traceableのグレーティングも提供可能。 SPMグレーティング 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 構造 形成パターン ステップ高 周期 チップサイズ 有効範囲
各種SPM校正やSPMプローブの評価。PTB-traceableのグレーティングも提供可能。 SPMグレーティング-品番-TGZ1

TGZ1

要見積もり

シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成

1- D (Z軸方向)

21.6±1.5nm

3±0.05μm

5×5×0.5mm

3×3 (中央部) mm

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 東京都
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