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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 構造 | 形成パターン | ステップ高 | 周期 | チップサイズ | 有効範囲 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
TGZ1 |
要見積もり |
シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成 |
1- D (Z軸方向) |
21.6±1.5nm |
3±0.05μm |
5×5×0.5mm |
3×3 (中央部) mm |
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