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コストパフォーマンス抜群のガス分析装置 (四重極質量分析計) 残留ガス分析計取扱企業
株式会社東京インスツルメンツカテゴリ
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ガス分析計の製品165点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 質量数測定範囲 | 質量分析器 | 検出器 | 質量分解能 | 感度 (A/Torr) | 最小検知分圧 | 動作圧力条件 | イオナイザー | フィラメント | 電子エネルギー (V) | イオンエネルギー (V) | フォーカス電圧 (V) | 電子放射電流 (mA) | プローブ寸法 (cm) | 接続ポート | ECU寸法 (cm) | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
残留ガス分析計 RGA100 |
要見積もり |
100 amu |
四重極質量分析計 |
ファラデーカップ (FC,標準) CEM, (RGAはオプション) |
0.5 amu以上 |
2×10^-4 (FC) , <200 (CEM) |
6.7×10^-9 Pa (FC) , 6.7×10^-12 Pa (CEM) |
0.013 Pa~UHV (FC) 1.3×10^-3 Pa~UHV (CEM) |
オープンイオン化源 |
RGA ThO2/Ir |
25~105 (プログラマブル) |
8または12V (プログラマブル) |
0~150V (プログラマブル) |
0~3.5 (プログラマブル) |
22.2 (フランジ面からメッシュ上部) |
ICF70 |
7.9 (W) ×10.4 (H) ×23.1 (D) (プローブ取外し可) |
24 VDC@2.5 A Op.2追加で100 VACから取得可 |
ガス分析計 をフィルターから探すことができます
測定範囲 ppm
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000質量数範囲 amu
1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500分析時間 秒
50 - 100 100 - 150質量分解能 M/ΔM
0 - 1 1 - 2 2 - 3動作温度範囲 ℃
-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150電源・電圧 V
0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240 240 - 270応答速度 sec
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160精度 %FS
0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50使用ガス
ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素返答率
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