コストパフォーマンス抜群のガス分析装置 (四重極質量分析計) 残留ガス分析計-残留ガス分析計 RGA100

コストパフォーマンス抜群のガス分析装置 (四重極質量分析計) 残留ガス分析計
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この製品について

■概要RGA100, RGA200, RGA300型残留ガス分析計は低価格な真空系における残留ガスの分析装置です。ガス分析には四重極質量分析計を採用し、ファラデーカップまたはチャンネルトロン (オプション) で検出します。

プローブはオープンソースタイプのデュアルThoriated Iridiumフィラメントを採用しています。専用のソフトウェアが標準で付属しPCから完全な制御が可能です。

ガス分析器部分は簡単に分解することが可能でクリーニング等のメンテナンスもやりやすい設計になっています。任意の質量数の分圧変化のモニターなどプロセスモニター用途でもご使用頂けます。

■特長・100, 200, 300 amuシステム
・測定分解能1 amu以下
・最小検知分圧6.7× 10^-12 Pa (RGA) 
・1 ppm検出 (CIS) 
・動作圧力1.33 Pa (最大,CIS) 
・専用ソフトウェア付属 (Windows版) 
・マルチヘッドオペレーション
・RS232インターフェイス

■用途・真空装置の残留ガス分析
・プロセス管理、リークチェック

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コストパフォーマンス抜群のガス分析装置 (四重極質量分析計) 残留ガス分析計

取扱企業
株式会社東京インスツルメンツ

カテゴリ

メーター・計測機器

ガス分析計

測定機器

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コストパフォーマンス抜群のガス分析装置 (四重極質量分析計) 残留ガス分析計品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	質量数測定範囲	質量分析器	検出器	質量分解能	感度 (A/Torr)	最小検知分圧	動作圧力条件	イオナイザー	フィラメント	電子エネルギー (V)	イオンエネルギー (V)	フォーカス電圧 (V)	電子放射電流 (mA)	プローブ寸法 (cm)	接続ポート	ECU寸法 (cm)	電源
	残留ガス分析計 RGA100	要見積もり	100 amu	四重極質量分析計	ファラデーカップ (FC,標準) CEM, (RGAはオプション)	0.5 amu以上	2×10^-4 (FC) , <200 (CEM)	6.7×10^-9 Pa (FC) , 6.7×10^-12 Pa (CEM) 1.3×10^-8 Pa＊1 (CISモード) , 1.3×10^-9 Pa＊1 (RGAモード)	0.013 Pa~UHV (FC) 1.3×10^-3 Pa~UHV (CEM) 1.3 Pa以下	オープンイオン化源クローズドイオン化源	RGA ThO2/Ir CIS ThO2/Irまたはタングステン	25~105 (プログラマブル)	8または12V (プログラマブル)	0~150V (プログラマブル)	0~3.5 (プログラマブル)	22.2 (フランジ面からメッシュ上部)	ICF70	7.9 (W) ×10.4 (H) ×23.1 (D) (プローブ取外し可)	24 VDC@2.5 A Op.2追加で100 VACから取得可