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サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O-微量水分測定装置 Spark H2O
サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O-株式会社東京インスツルメンツ

サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O
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この製品について

■概要

TigerOptics社のSpark H2Oは、キャビティリングダウン分光法 (CRDS) によりサンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定を行うガス分析装置です。 従来の露点計などの水分測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

■用途

・極微量水分濃度の計測・管理 ・半導体等製造工程中のガスモニタリング ・湿度計測・湿度標準の研究開発

■特長

・NIST準拠 ・高速応答・高感度・高精度・高信頼性 ・簡単操作・メンテナンスフリー ・コンパクトなワンボックス型 ・水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル ・広い測定濃度範囲 (N2ガス中のH2O濃度:15ppb~2,000ppm) ・イーサネット・絶縁4mA-20mA出力・RS-232対応

  • シリーズ

    サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O

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サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 濃度測定範囲 最小検出限界 (LDL) 感度 (3σ) 精度 (1σ) 正確度 応答速度 動作温度 保存温度
サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O-品番-微量水分測定装置 Spark H2O

微量水分測定装置 Spark H2O

要見積もり

0~2,000 ppm

4~40 ppb

3~30 ppb

±0.75% または感度の1/3 (大きい方)

± 4% または最小検出限界 (大きい方)

<3分 (90%応答)

10~40℃、湿度30~80%RH (但し結露しないこと)

-10~50℃

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 東京都
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