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超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) -HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)
超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) -株式会社東京インスツルメンツ

超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)
株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■概要

TigerOptics社のHALO3シリーズは、キャビティリングダウン分光法 (CRDS) によりサンプルガス中の特定のガス分子の濃度をpptレベルの超高感度で測定するガス分析装置です。 従来のガス分子濃度測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

■特長

・NIST準拠 ・高速応答・高感度・高精度・高信頼性 ・簡単操作・メンテナンスフリー ・コンパクトなワンボックス型 ・サンプルガス中のH2O, CO, CO2, CH4, HFなどの微量な分子濃度を高感度測定 ・広い測定濃度範囲 (N2ガス中のH2O濃度:400ppt~20ppm, HALO KA H2O) ・イーサネット・絶縁4mA~20mA出力・RS-232対応

■用途

・極微量ガス濃度の計測・管理 ・半導体等製造工程中のガスモニタリング ・湿度計測・湿度標準の研究開発

  • シリーズ

    超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)

企業レビュー 5.0

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2025年7月9日にレビュー済み

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超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 濃度測定範囲 最小検出限界 (LDL) 感度 (3σ) 精度 (1σ) 正確度 応答速度 動作温度 保存温度
超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) -品番-HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)

HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)

要見積もり

0~20 ppm

200~400 ppt

60~300 ppt

±0.75% または感度の1/3 (大きい方)

±4% または最小検出限界の1/2 (大きい方)

<3分 (95%応答)

10~40℃、湿度30~80%RH (但し結露しないこと)

-10~50℃

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構成形態: 据置型

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使用用途

#排ガス監視 #環境測定 #空気質評価 #工場排出管理 #安全監視 #化学反応解析 #燃焼制御 #半導体製造 #製品検査 #研究開発

測定原理

非分散赤外線型 熱伝導型 質量分析型 電気化学型 ガスクロマトグラフ型

分析対象

単成分分析型 多成分分析型

計測方式

連続測定型 バッチ測定型

構成形態

据置型 携帯型 モジュール型

測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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この商品の取り扱い会社情報

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  • 本社所在地: 東京都
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