超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) -HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)

超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)
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この製品について

■概要TigerOptics社のHALO3シリーズは、キャビティリングダウン分光法 (CRDS) によりサンプルガス中の特定のガス分子の濃度をpptレベルの超高感度で測定するガス分析装置です。

従来のガス分子濃度測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

■特長・NIST準拠
・高速応答・高感度・高精度・高信頼性
・簡単操作・メンテナンスフリー
・コンパクトなワンボックス型
・サンプルガス中のH2O, CO, CO2, CH4, HFなどの微量な分子濃度を高感度測定
・広い測定濃度範囲 (N2ガス中のH2O濃度：400ppt～20ppm, HALO KA H2O) 
・イーサネット・絶縁4mA～20mA出力・RS-232対応

■用途・極微量ガス濃度の計測・管理
・半導体等製造工程中のガスモニタリング
・湿度計測・湿度標準の研究開発

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)

取扱企業
株式会社東京インスツルメンツ

カテゴリ

メーター・計測機器

ガス分析計

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超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	濃度測定範囲	最小検出限界 (LDL)	感度 (3σ)	精度 (1σ)	正確度	応答速度	動作温度	保存温度
	HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)	要見積もり	0~20 ppm	200~400 ppt	60~300 ppt	±0.75％または感度の1/3 (大きい方)	±4％または最小検出限界の1/2 (大きい方)	<3分 (95%応答)	10~40℃、湿度30~80％RH (但し結露しないこと)	-10~50℃