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半導体基板・薄膜中の低濃度水素の超高感度検出、水素センサー素子の開発 超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS取扱企業
株式会社東京インスツルメンツカテゴリ
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水素脱離分析装置の製品5点中、注目ランキング上位5点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | イオン電流 | 加熱方式 | 温度制御 | 試料サイズ | 質量分析範囲 |
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超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS |
要見積もり |
1×10^-13Aまで検出可能 1×10^15ion.cm2の水素イオン注入基板まで検出可能 5×10^16個/cm3, 1/100万程度の濃度の水素原子を検出 |
赤外レーザー加熱 (983nm) |
放射温度計によるPID制御 (放射率は熱電対付き温度校正用基板で校正) 温度範囲 150℃~1,000℃ 昇温速度 10℃/min~100℃/minで任意設定 |
10mm×10mm | 1~100 amu |
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