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マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源-高速パルス変調マイクロ波電源
マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源-日本高周波株式会社

マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源
日本高周波株式会社



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この製品について

パルス変調されたマイクロ波プラズマが、半導体ウェーハの微細加工に有望視されております。当社はこの要望に応え今回、高速パルス変調マイクロ波電源を開発いたしました。

■特徴

・繰り返し周波数は、低周波数から高周波数まで広帯域に対応。 ・デューティは、10%~90%まで可変。 ・オーバーシュートのない高速の立上がり、下がり。 ・当社、PWM型スイッチング電源を使用し、パルス変調部と組み合わせることにより、 平均出力電力5kWまで対応可能。

  • シリーズ

    マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源

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マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 周波数 繰り返し周波数 デューティー 立上がり時間 立下がり時間 平均出力電力 パルス出力電力
マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源-品番-高速パルス変調マイクロ波電源

高速パルス変調マイクロ波電源

要見積もり

2,450MHz

1kHz~100kHz

10~90% (ただし100kHzは85%まで)

1μs以下

1μs以下

200W~2kW

400WP~2kWP

フィルターから探す

パルス電源をフィルターから探すことができます

出力電流 A

-1 - 1 1 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500

出力電圧 V

-6,000 - 0 0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 3,000 3,000 - 50,000

パルス幅 ms

0 - 1 1 - 10 10 - 100

周波数 kHz

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 2,000

入力電圧 V

100 - 200 200 - 300 300 - 500

冷却方式

強制空冷 水冷 空冷

質量 kg

1 - 10 10 - 30 30 - 100 100 - 200

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本高周波株式会社は、1932年に設立された高周波機器メーカーです。 同軸コンポーネントの製造販売、空中線監視装置の製造販売、導波管コンポーネントの製造販売、マイクロ波電源の製造販売、高周波増幅器の製造販売、モニタ機器...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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