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マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源-高速パルス変調マイクロ波電源
マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源-日本高周波株式会社

マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源
日本高周波株式会社



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この製品について

パルス変調されたマイクロ波プラズマが、半導体ウェーハの微細加工に有望視されております。当社はこの要望に応え今回、高速パルス変調マイクロ波電源を開発いたしました。

■特徴

・繰り返し周波数は、低周波数から高周波数まで広帯域に対応。 ・デューティは、10%~90%まで可変。 ・オーバーシュートのない高速の立上がり、下がり。 ・当社、PWM型スイッチング電源を使用し、パルス変調部と組み合わせることにより、 平均出力電力5kWまで対応可能。

  • シリーズ

    マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源

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マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 周波数 繰り返し周波数 デューティー 立上がり時間 立下がり時間 平均出力電力 パルス出力電力
マイクロ波電源・自動整合器他 高速パルス変調マイクロ波電源-品番-高速パルス変調マイクロ波電源

高速パルス変調マイクロ波電源

要見積もり

2,450MHz

1kHz~100kHz

10~90% (ただし100kHzは85%まで)

1μs以下

1μs以下

200W~2kW

400WP~2kWP

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本高周波株式会社は、1932年に設立された高周波機器メーカーです。 同軸コンポーネントの製造販売、空中線監視装置の製造販売、導波管コンポーネントの製造販売、マイクロ波電源の製造販売、高周波増幅器の製造販売、モニタ機器...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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