R&D向け小型真空ロールコーター FRC-100V
株式会社メディア研究所

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この製品について

■概要・FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。
・樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能。使い勝手の良い制御系を搭載しています。
・太陽光発電、タッチパネルなどの分野では大量生産に有利と考えられるRoll to Roll式。開発・パイロット設備としてお使い頂けます。
・アプリケーションとして透明導電膜、光学膜、及び金属膜用にITO、ZnO, SiO2、SiOx等の材料に対応可能です。

■特徴・業界一の低価格
・所要面積は4m²と非常にコンパクト
・クリーンルーム内に設置可能

■シンプルでしかも高性能・タッチパネル1面でほとんどの操作が可能
・走行パターン、スパッタ電源設定、ガス導
・入設定等が簡単に行えます
・カソードを2セット装着
・RF電極装備で表面改質も可能です

■高性能な排気系・メインポンプは大容量のTMPを装備
・水分はクライオスーパートラップにより高速で排気します

■省エネ小型で余計なエネルギーは使いません

標準構成
■真空槽・SUS304製　ビューポート　3ヶ所
・着板　2セット

■排気系・RP　500L/min
・TMP1100L/s＋CRYO 4,000L/s (水) 
・3ポジション　ゲートバルブ

■走行系・テンションコントロール
・速度可変サーボモータ
・冷却式キャンロール
・CW、CCW、裏・表巻き取り可

■スパッタ源DCマグネトロンカソード　2極

■前処理RFカソード　1極