高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ
大宮工業株式会社

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

高圧水銀／メタルハライド仕様フルオートUV照射装置は、強い放射エネルギーを持つランプを使用した紫外線硬化装置です。ワーク投入後、スタートボタンを押すとマガジン内からワークを取出し・UV照射・収納をマガジン内のワークすべての完了までを全自動で行います。

対象ワークに応じて、高圧水銀ランプ／メタルハライドランプを選択頂けます。

■特長・コンパクトなボディー
・10通りのレシピ設定が可能 (設定により速度可変) 
・タッチパネルで4通りの電力が設定可能
・積算照射量・紫外線照射強度を表示 (照射時のみ) 
・照射対象に応じて高圧水銀ランプ / メタルハライドランプの選択可能
・異サイズへの切り替えを自動で行う自動段取り替え機能搭載
・ダイシングフレームのみならずグリップリングの照射も可能
・UV照射の完了と未完了を判別できる機能付
・タッチパネル

■用途LSIウエハ・メモリウエハ・LEDウエハ・レーザーウエハ・センサーウエハ・パワーデバイスウエハ その他の様々な工程に流用可能。