高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ
大宮工業株式会社
この製品について
■特長
・コンパクトなボディー ・10通りのレシピ設定が可能 (設定により速度可変) ・タッチパネルで4通りの電力が設定可能 ・積算照射量・紫外線照射強度を表示 (照射時のみ) ・照射対象に応じて高圧水銀ランプ / メタルハライドランプの選択可能 ・異サイズへの切り替えを自動で行う自動段取り替え機能搭載 ・ダイシングフレームのみならずグリップリングの照射も可能 ・UV照射の完了と未完了を判別できる機能付 ・タッチパネル■用途
LSIウエハ・メモリウエハ・LEDウエハ・レーザーウエハ・センサーウエハ・パワーデバイスウエハ その他の様々な工程に流用可能。-
シリーズ
高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ
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取扱企業
大宮工業株式会社
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高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 寸法 | 重量 | 駆動エア | UV照度 | N₂ | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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FHUV |
要見積もり | W1,300×D1,400×H1,350 (mm) | 約400kg | 0.4Mpa以上 | 200mW/cm²以上 | 0.2Mpa以上100L/min以上 | AC3相200V50/60Hz100A |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
