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高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ-FHUV
高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ-大宮工業株式会社

高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

高圧水銀／メタルハライド仕様フルオートUV照射装置は、強い放射エネルギーを持つランプを使用した紫外線硬化装置です。ワーク投入後、スタートボタンを押すとマガジン内からワークを取出し・UV照射・収納をマガジン内のワークすべての完了までを全自動で行います。 対象ワークに応じて、高圧水銀ランプ／メタルハライドランプを選択頂けます。

■特長

・コンパクトなボディー ・10通りのレシピ設定が可能 (設定により速度可変) ・タッチパネルで4通りの電力が設定可能 ・積算照射量・紫外線照射強度を表示 (照射時のみ) ・照射対象に応じて高圧水銀ランプ / メタルハライドランプの選択可能 ・異サイズへの切り替えを自動で行う自動段取り替え機能搭載 ・ダイシングフレームのみならずグリップリングの照射も可能 ・UV照射の完了と未完了を判別できる機能付 ・タッチパネル

■用途

LSIウエハ・メモリウエハ・LEDウエハ・レーザーウエハ・センサーウエハ・パワーデバイスウエハ その他の様々な工程に流用可能。

  • シリーズ

    高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ

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高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 寸法 重量 駆動エア UV照度 N₂ 電源
高圧水銀仕様フルオートUV照射機 FHUV-シリーズ-品番-FHUV

FHUV

要見積もり

W1,300×D1,400×H1,350 (mm)

約400kg

0.4Mpa以上

200mW/cm²以上

0.2Mpa以上100L/min以上

AC3相200V50/60Hz100A

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この商品の取り扱い会社情報

大宮工業株式会社

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ（半導体素子製造の材料）を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県

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